XP-703D砷化三氫檢測(cè)儀|XP-703D磷化氫檢測(cè)儀|XP-703D磷化氫檢測(cè)儀XP-703D乙硼烷檢測(cè)儀|XP-703D硅烷檢測(cè)儀|上海如慶總代理新宇宙產(chǎn)品
zui適用于半導(dǎo)體材料氣體的超微量泄漏檢測(cè)。
通過報(bào)警燈及蜂鳴器即可得知?dú)怏w泄漏。
型號(hào) | XP-703D |
檢測(cè)原理 | 型半導(dǎo)體式 |
檢測(cè)對(duì)象氣體 | 半導(dǎo)體材料氣體（砷化三氫、磷化氫、乙硼烷、硅烷等） |
能檢測(cè)的泄漏量 能檢測(cè)的濃度 | 砷化三氫
AsH3
1.0×10-7
0.2 | 磷化氫
PH3
1.5×10-7
0.3 | 乙硼烷
B2H6
0.5×10-7
0.1 | 硅烷
SiH4
2.5×10-7
0.5 | 氫氣
H2
5×10-7 Pa·m3 /s
1.0 ppm |
應(yīng)答時(shí)間 | 10秒 |
檢測(cè)表示 | 蜂鳴器發(fā)出斷續(xù)音且報(bào)警燈閃爍 |
電源 | 5號(hào)錳干電池4節(jié) |
電池使用時(shí)間※1 | 使用堿性干電池使用約9小時(shí)（使用錳干電池約3小時(shí)） |
使用溫度范圍 | 0℃~40℃ |
外形尺寸 | W68×H155×D32mm |
重量 | 約400g（包括電池） |
附件 | 皮套、吸引過濾器、過濾片、檢查氣體、標(biāo)準(zhǔn)輔助橡膠管、5號(hào)錳干電池4本 |
另售的選購(gòu)品 | Ni-Cd電池充電器、耳機(jī) |
※1 也可使用堿性干電池、Ni-Cd電池。
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